仪器负责人：赵新福

联系方式：18507149986

样品测试负责人：苏建辉

联系方式：13006119970

技术指标：

电子束入射方式：直射式电子束激发方式，避免平射式电子枪加上偏转磁铁而产生亮度不均匀的光斑

操作模式：自动/手动模式

真空腔设计：电子枪及盖板整合为一体，体积小，轻便，真空腔厚度小于4.0cm

样品台设计：单轴评议X和Y轴，轴内采用硅橡胶O型圈软密封，密封效果良好；

真空密封要求：样品抽屉、盖板等部件使用规范燕尾槽真空密封设计；固态真空计；可通入氦气、氩气等

电子枪的样品盖板工作距离为5-9mm

显示屏：数字显示高压、电流、真空度、及一起状态、kV开启、电子枪输出极限，真空控制阀操控，内部电流输出诊断信息和控制参数等指标

阴极高压：0-30kV，过压保护功能

电子束流：0-2000μA束流，过流保护功能

极限真空度：0.003mBa=0.3pa，自动比例阀，维持稳定束流和电压

样品室底部窗口用于显微镜透射光使用

电源：220V，50Hz交流电源

使用环境：温度<30℃、湿度<60%