主要技术指标:
1.元素探测范围:5B-92U,定量分析总量误差3%以内,主元素相对双差≤5%,探测极限
10-5-10-3,绝对感量10-10g—10-5g.
图像分辨率:10—20nm,图像放大倍数40X-360000X,放大倍数误差≤10%.
2.定性分析:鉴定样品中含有哪些元素.可探测元素5B-92U.一般性方法检出限
为10-4-10-2,在特别确认某一元素的存在时检出限为10-5-10-3,绝对感量10-16g-10-15g.
3.定量分析:测定样品中各元素的浓度.主要分析元素为11Na-92U.总量误差≤±3%,
主元素相对双差≤5%,含量为1%-5%的元素相对双差≤10%,含量0.3%-1%的元素相对双差≤20%.
4.半定量分析:包括轻元素分析、无标样分析,粗糙样品分析,薄样品分析或其它未经严格校正或不满足定量分析条件样品的分析.
元素范围5B-92U.总量误差、准确度、定量分析.
5. 图像观察:包括二次电子像,背散射电子成分像,背散射电子形貌像X线元素面分布,线扫描像,荧光像.放大倍数范围:40X-36,000X,放大倍数误差≤10%;二次电子像分辨率10-20nm.
6. 加速电压:10~25KV
7. 灯 丝:钨灯丝
8. 探针直径:2μ
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