技术指标：主要技术指标：1. 电子光学系统：

1) 钨灯丝电子枪

2) 加速电压：1KV—30KV

3) 束流范围：10^-6--10^-12

4) 电子图象放大倍数：40×~10万×

5) 电子图象种类：二次电子像、背散射电子像、Ｘ射线图像、阴极发光像.

6) 电子图象分辨率：6nm

2. 波谱系统

4道波谱仪, 每道谱仪2块晶体。元素探测：Be⁴-U⁹²

罗兰圆半径:100mm,140mm两种.

*定量分析精度：含量>5%时好于1%，含量1～5%时好于5%；总量100±1.5%

*分析速度：波谱全元素定性分析时间≤13分钟(使用6块晶体测试)；10元素（Si Ti Al Fe Mn Mg Ca Na K Cr）常规定量分析时间≤3分钟/点.

3. 光学显微镜系统

分辨率：μm 级，有标尺。

放大倍率：低倍≤60；高倍≥250

*照明方式：有反光、透光照明方式。带正交偏光片及驱动系统。并配有适合地质岩矿薄片观察分析的透射偏光专用样品座。

4．真空系统

样品室真空度：优于1.3×10^-3Pa 。

全系统抽空时间45分钟、交换样品时间3分钟、电子枪抽空时间3分钟；

主要功能及应用领域：

电子探针显微分析仪广泛应用于地质学、金属和无机非金属材料、生物、医学、等研究领域。适用对各种样品进行观察和分析。近年来在地质学领域得到了广泛的应用和发展，如锆石和独居石矿物中的Th、U、Pb元素的微量分析,可以分析得出矿物在地球演化过程中的相关年龄和温度压力条件。